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无色或白色菱形或针状结晶,无味.相对密度1.788.不易潮解,但可风化而失去结晶水.80℃以上时脱水分解,并放出四氟化硅气体,易溶于水,溶于稀酸,难溶于氢氟酸,不溶于醇.水溶液呈酸性,与碱作用时生成相应的氟化物及二氧化硅.